讲座题目：电子束光刻研制X射线光学部件进展
讲座时间：2025年4月7日（星期一）上午10:30
讲座地点：格律楼101会议室
主 讲 人：陈宜方
报告内容：从进口到出口：电子束光刻研制X射线光学部件进展
主讲人简历：
陈宜方，凝聚态物理学博士（牛津大学，1995年），教授，博士生导师。2012年获得中组部国家千人计划，2018年起享受国务院政府特殊津贴。自1990年起，先后在英国牛津大学凝聚态物理系（1991年荣获最优秀博士生奖）、国际著名的荷兰戴尔福特理工大学量子输运组（1994-96）、新加坡南洋理工大学微电子中心（1996-97）、英国格拉斯哥大学詹姆斯.瓦特纳米技术中心（1997-2002）、英国卢瑟福阿普尔顿国家实验室（2003-2012）长期从事电子束光刻纳米加工与应用的基础研究。曾经担任英国卢瑟福实验室（MNTC中心）纳米科技首席科学家，瑞士洛桑理工学院（EPFL）访问教授（2010）和英国国家物理实验室（NPL）的高级访问研究员等职（2014-2019）。2012年归国至今，从事纳米加工在高电子迁移率晶体管、新型红外焦平面光电芯片、红外偏振探测器焦平面、超表面材料光场调控及其应用和X射线关键光学部件的研制。发表相关科技SCI论文160余篇，获得国内专利10项。他是Elsevier出版社Microelectronics Engineering期刊副主编、全国微光刻技术分会委员、九三学社科学普及委员会委员，欧洲研究理事会（ERC）远程评审专家等。